Pt/LSMCD-BLT/ALD-ALD/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Radical-Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/Siの長期データ保持特性 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Pt/LSMCD-BLT/ALD-ALD/Al₂O₃/Radical-Si₃N₄/Siの長期データ保持特性
英文:

著者

和文:	藤崎芳久, 井関邦江, 石原宏.
英文:	藤崎芳久, 井関邦江, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第64回応用物理学会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

No. 30p-T-4

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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