Effect of Vacuum Annealing on High-k Dy<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films Deposited on Si(100)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Vacuum Annealing on High-k Dy₂O₃ Thin Films Deposited on Si(100)

著者

和文:	S. Ohmi, H. Yamamoto, J. Taguchi, K. Tsutsui, H. Iwai.
英文:	S. Ohmi, H. Yamamoto, J. Taguchi, K. Tsutsui, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of the 2003 Intenational Conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 510-511

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Tokyo, Japan