Aerosol Particles Generated in a Plasma Process and Penetrations through an Airfilter

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Aerosol Particles Generated in a Plasma Process and Penetrations through an Airfilter

著者

和文:	A. Yamamoto, K.Matsubayashi, M.Suzuki.
英文:	A. Yamamoto, K.Matsubayashi, M.Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc.16th Intl. Symp. Plasma Chemistry (ISPC16) ,Taormina, Italy,

巻, 号, ページ

Vol. Po10.36 pp. 562-567

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: