Reduction of grain-boundary potential barrier height in polycrystalline silicon with hot H2O vapor annealing probed using point-contact devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Reduction of grain-boundary potential barrier height in polycrystalline silicon with hot H2O vapor annealing probed using point-contact devices

著者

和文:	T. Kamiya, Z.A.K. Durrani, H. Ahmed, T. Sameshima, Y. Furuta, H. Mizuta, N. Lloyd.
英文:	T. Kamiya, Z.A.K. Durrani, H. Ahmed, T. Sameshima, Y. Furuta, H. Mizuta, N. Lloyd.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. B 21 pp. 1000-1003

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: