キャピラリーＺピンチ放電を用いた極端紫外線光源の分光計測

論文・著書情報

タイトル

和文:	キャピラリーＺピンチ放電を用いた極端紫外線光源の分光計測
英文:	Spectroscopic analysis of capillary Z pinch extreme-ultraviolet light source for lithography

著者

和文:	宋仁皓, 岩田和宏, 本間友祐, 林靖, M.Masnavi, 渡辺正人, 安岡康一, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	宋仁皓, 岩田和宏, 本間友祐, 林靖, M.Masnavi, 渡辺正人, 安岡康一, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成16年度日本分光学会春期講演会・シンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

pp. 86

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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