Influence of ionization dynamics on highly ionized Xe states and efficiency of capillary discharge EUV source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of ionization dynamics on highly ionized Xe states and efficiency of capillary discharge EUV source

著者

和文:	Majid MSNAVI, Mitsuo NAKAJIMA, Akitoshi OKINO, Eiki HOTTA, Makoto SHIHO, Kazuhiko HORIOKA.
英文:	Majid MSNAVI, Mitsuo NAKAJIMA, Akitoshi OKINO, Eiki HOTTA, Makoto SHIHO, Kazuhiko HORIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	平成16年度日本分光学会春期講演会・シンポジウム
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: