Optimization of Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Lithgraphy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optimization of Capillary Z-pinch Discharge Light Source for Lithgraphy

著者

和文:	Inho Song, Kazuhiro Iwata, Yusuke Honma, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Kwang-cheol Ko, Eiki Hotta.
英文:	Inho Song, Kazuhiro Iwata, Yusuke Honma, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Kwang-cheol Ko, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd International EUVL Symposium

巻, 号, ページ

Vol. SoP07

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: