Development of Plasma Jet Z-pinch Discharge System for EUV Light Source with High Efficiency and Low Debris Generation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Plasma Jet Z-pinch Discharge System for EUV Light Source with High Efficiency and Low Debris Generation

著者

和文:	Yusuke Honma, Inho Song, Kazuhiro Iwata, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Yusuke Honma, Inho Song, Kazuhiro Iwata, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd International EUVL Symposium

巻, 号, ページ

Vol. SoP09

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: