A 1.5mm³ piezoelectric linear microactuator using a pair of fins

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 1.5mm³ piezoelectric linear microactuator using a pair of fins

著者

和文:	Yasuyuki Gouda, ＦＲＩＥＮＤ JAMES, 中村健太郎, 上羽貞行.
英文:	Yasuyuki Gouda, James R. Friend, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of ICA 2004

巻, 号, ページ

Mo5.I.4 p. I-577

出版年月

2004年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 18th International Congress on Acoustics

開催地

和文:
英文:	Kyoto