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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication of Ru/Bi4-XLaX Ti3O12/Ru ferroelectric capacitor structure using a Ru film deposited by metalorganic chemical vapor deposition 
著者
和文: T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
英文: T.Furukawa, T.Kuroiwa, Y.Fujisaki, T.Sato, H.Ishiwara.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Mater. Res. Soc. Sympo. Proc. (Ferroelectric Thin Films XII) 
巻, 号, ページ Vol. 784        pp. C7.7.1-C7.7.6
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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