Two-dimensionally self-holding Deflector with SAW (Surface Acoustic Wave) Actuation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Two-dimensionally self-holding Deflector with SAW (Surface Acoustic Wave) Actuation

著者

和文:	井関隆之, 重松隆史, 奥村実紀雄, 菅原孝, 黒澤実.
英文:	T. Iseki, T. Shigematsu, M. Okumura, T.Sugawara, M. K. Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMS and Their Application, OPTICAL MEMS 2004

巻, 号, ページ

pp. 62-63

出版年月

2004年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: