On-Chip High-Q Cu Inductors Embedded In Wafer-Level Chip-Scale Package for Silicon RF Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	On-Chip High-Q Cu Inductors Embedded In Wafer-Level Chip-Scale Package for Silicon RF Application

著者

和文:	Kazuhisa Itoi, Masakazu Sato, Hiroshi Abe, Hirotaka Sugawara, Hiroyuki Ito, Kenichi Okada, Kazuya Masu, Tatsuya Ito.
英文:	Kazuhisa Itoi, Masakazu Sato, Hiroshi Abe, Hirotaka Sugawara, Hiroyuki Ito, Kenichi Okada, Kazuya Masu, Tatsuya Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE MTT-S International Microwave Symposium

巻, 号, ページ

pp. 197-200

出版年月

2004年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Texas, USA