DLC coating for mechanical seals by sputtering in argon and methane plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DLC coating for mechanical seals by sputtering in argon and methane plasma

著者

和文:	Hamed Vaez Taghavi, 平田敦.
英文:	Hamed Vaez Taghavi, Atsushi Hirta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstract book of the 9th International Conference on New Diamond Science and Technology

巻, 号, ページ

pp. 195-196

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: