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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication of ultrafine x-ray mask using precise crystal growth technique 
著者
和文: Y. Miyamoto, K. Furuya, D. Yamazaki.  
英文: Y. Miyamoto, K. Furuya, D. Yamazaki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 31    No. 4A    pp. 432-435
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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