Precise Control of Grating Pitch by Electron-Beam Exposure System for Integrated Optics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Precise Control of Grating Pitch by Electron-Beam Exposure System for Integrated Optics

著者

和文:	K. Furuya, K. Yoshida, K. Honjo, Y. Suematsu.
英文:	K. Furuya, K. Yoshida, K. Honjo, Y. Suematsu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Trans. IECE Japan.

巻, 号, ページ

Vol. E66 No. 9 pp. 561-562

出版年月

1983年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: