Wet Chemical Etching for Ultrafine Periodic Structure:Rectangular InP Corrugations of 70nm Pitch and 100 nm Depth

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Wet Chemical Etching for Ultrafine Periodic Structure:Rectangular InP Corrugations of 70nm Pitch and 100 nm Depth

著者

和文:	E. Inamura, Y. Miyamoto, S. Tamura, T. Takasugi, K. Furuya.
英文:	E. Inamura, Y. Miyamoto, S. Tamura, T. Takasugi, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 28 No. 10 pp. 2193-2196

出版年月

1989年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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