A simple bidirectional linear microactuator for nanopositioning - the baltan microacatuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A simple bidirectional linear microactuator for nanopositioning - the baltan microacatuator

著者

和文:	ジェームズフレンド, 合田泰之, 中村健太郎, 上羽貞行.
英文:	James Friend, Yasuyuki Gouda, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

巻, 号, ページ

vol. 53 no. 6 pp. 1160-1168

出版年月

2006年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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