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論文・著書情報


タイトル
和文:研磨による強誘電体表面の平坦化をおこなったBLT/ITO構造トランジスタの電気的特性 
英文: 
著者
和文: 藤村朋史, 瀋悦, 徳光永輔.  
英文: Tomofumi Fujimura, Etsu Shin, EISUKE TOKUMITSU.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 31a-V-9   
出版年月 2006年8月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第67回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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