Preparation of Al2O3 Thin Films on SiC by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Al2O3 Thin Films on SiC by Metal Organic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	畑山智裕, 日野史郎, 萩原汐, 徳光永輔.
英文:	Tomohiro Hatayama, Shiro Hino, Shio Hagiwara, Eisuke Tokumitsu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. Paper B5.10

出版年月

2006年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 Spring meeting, Materials Research Society

開催地

和文:
英文:	San Francisco