High Speed Surface Micro-Polishing for Spurious Reduction of Small Quartz Crystal Blanks

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Speed Surface Micro-Polishing for Spurious Reduction of Small Quartz Crystal Blanks

著者

和文:	初澤毅, 濱野尚, 斉藤匡史, 栁田保子.
英文:	T. Hatsuzawa, H. Hamano, M. Saito, Y. Yanagida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEJ Trans. on Sensor and Micromachines

巻, 号, ページ

Vol. 127 No. 1 pp. 37-41

出版年月

2007年1月

出版者

和文:	電気学会
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI