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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Preparation of hafnium oxide films from oxygen-free Hf[N(C2H5)2]4 precursor and their properties
著者
和文:
高橋 健二
,
中山 誠
,
横山信太郎
,
Takeshi Kimura
,
徳光永輔
.
英文:
Kenji Takahashi
,
Makoto Nakayama
,
Shintaro Yokoyama
,
Takeshi Kimura
,
Eisuke Tokumitsu
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Applied Surface Science
巻, 号, ページ
No. 216 pp. 296-301
出版年月
2003年1月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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