スプール型サーボ弁と層流型高速流量計を用いた空圧式アクティブ除振台の制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	スプール型サーボ弁と層流型高速流量計を用いた空圧式アクティブ除振台の制御
英文:	Active Control of Pneumatic Isolation Table with Spool Type Servo Valve and Quick Response Laminar Flow Sensor

著者

和文:	加藤友規, 川嶋健嗣, 澤本晃一, 舩木達也, 香川利春.
英文:	Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Koichi Sawamoto, Tatsuya Funaki, TOSHIHARU KAGAWA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 72 No. 6 pp. 772-777

出版年月

2006年6月

出版者

和文:	社団法人　精密工学会
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会議名称

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開催地

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