A Study on the Fabrication of Multi-layer Microstructures using ELID Grinding and the Thick Photoresist Lithography Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on the Fabrication of Multi-layer Microstructures using ELID Grinding and the Thick Photoresist Lithography Technology

著者

和文:	金俊完, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H. Ohmori, T. Higuchi.
英文:	J.W. Kim, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H. Ohmori, T. Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 238-239 pp. 19-22

出版年月

2003年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: