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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Combination of Micro-mechanical Fabrication Technique and Thick Photoresist Lithography for Three Dimensional Microstructure Productions
著者
和文:
金 俊完
, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H.Ohmori, T.Higuchi.
英文:
J.W. Kim
, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H.Ohmori, T.Higuchi.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Advances in Abrasive Technology IV
巻, 号, ページ
pp. 115-118
出版年月
2001年11月6日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
The 4th International Symposium on Abrasive Technology (ISAAT2001)
開催地
和文:
英文:
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.