Combination of Micro-mechanical Fabrication Technique and Thick Photoresist Lithography for Three Dimensional Microstructure Productions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Combination of Micro-mechanical Fabrication Technique and Thick Photoresist Lithography for Three Dimensional Microstructure Productions

著者

和文:	金俊完, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H.Ohmori, T.Higuchi.
英文:	J.W. Kim, Y. Yamagata, S. Morita, S. Moriyasu, H.Ohmori, T.Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advances in Abrasive Technology IV

巻, 号, ページ

pp. 115-118

出版年月

2001年11月6日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 4th International Symposium on Abrasive Technology (ISAAT2001)

開催地

和文:
英文: