A newly developed linear motor-driven ultrasonic levitation nano-positioning table system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A newly developed linear motor-driven ultrasonic levitation nano-positioning table system

著者

和文:	吉岡勇人, Takahashi. M., Gokan. T., 新野秀憲.
英文:	Yoshioka, H., Takahashi. M., Gokan. T., Shinno, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 7th euspen International Conference

巻, 号, ページ

Vol. II pp. 145-148

出版年月

2007年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	7th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen)

開催地

和文:
英文:	Bremen, Germany