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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Synthesis of Poly[N-(1-adamantyl)vinylsulfonamide-co-2-(2-methyl)adamantylmethacrylate] for 193 nm Lithography.
著者
和文:
Fukuhara Toshiaki,
Shibasaki Yuji
, Ando Shinji, Kishimura Shinji, Endo Masayuki, Sasago Masaru, Ueda Mitsuru..
英文:
Fukuhara Toshiaki,
Shibasaki Yuji
, Ando Shinji, Kishimura Shinji, Endo Masayuki, Sasago Masaru, Ueda Mitsuru..
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Macromolecules
巻, 号, ページ
Vol. 38 No. 8 pp. 3041-3043
出版年月
2005年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
©2007
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