Fabrication and characterization of nanoscale suspended floating gates for NEMS memory

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication and characterization of nanoscale suspended floating gates for NEMS memory

著者

和文:	N. Momo, T. Nagami, S. Matsuda, Y. Tsuchiya, S. Saito, T. Arai, Y. Kimura, T. Shimada, H. Mizuta, S. Oda.
英文:	N. Momo, T. Nagami, S. Matsuda, Y. Tsuchiya, S. Saito, T. Arai, Y. Kimura, T. Shimada, H. Mizuta, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 109-110

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop

開催地

和文:
英文:	Honolulu