Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Lithography

著者

和文:	Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SEMATECH

巻, 号, ページ

Vol. 03-SO-24

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

開催地

和文:
英文:	Barcelona, Spain