Potentiality of Magnetically Confined Plasma as an Efficient Extreme Ultraviolet Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Potentiality of Magnetically Confined Plasma as an Efficient Extreme Ultraviolet Source

著者

和文:	Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta, Majid Masnavi, Makoto Shiho, Tohru Kawamura, Mitsuo Nakajima, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Tomonao Hosokai, Atsushi Kikuchi, Kensaku Takahashi.
英文:	Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta, Majid Masnavi, Makoto Shiho, Tohru Kawamura, Mitsuo Nakajima, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Tomonao Hosokai, Atsushi Kikuchi, Kensaku Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SEMATECH

巻, 号, ページ

Vol. 22-SO133

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

開催地

和文:
英文:	Barcelona, Spain