ガスジェットZピンチプラズマを用いた半導体リソグラフィ用EUV光源の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	ガスジェットZピンチプラズマを用いた半導体リソグラフィ用EUV光源の開発
英文:	Development of a Gas Jet-Type Z-pinch Plasma Light Source for EUV Lithography

著者

和文:	飯塚直哉, 岸望, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.
英文:	Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本光学会・日本分光学会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 9pP19

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	日本光学会年次学術講演会・日本分光学会秋季講演会
英文:

開催地

和文:	東京
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