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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノプラズマCVD法によるBN系薄膜の合成 
英文: 
著者
和文: 斉藤雅則, 斉藤隆雄, 近藤好正, 村上碩哉, 大竹尚登.  
英文: 斉藤雅則, 斉藤隆雄, 近藤好正, 村上碩哉, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 66-67
出版年月 2006年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第20回ダイヤモンドシンポジウム 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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