Development of latent images due to transient free carrier electrons by femtosecond laser pulses and its application to grating shape trimming

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of latent images due to transient free carrier electrons by femtosecond laser pulses and its application to grating shape trimming

著者

和文:	Ken-ichi Kawamura, Takukazu Otsuka, Masahiro Hirano, Toshio Kamiya, Hideo Hosono.
英文:	Ken-ichi Kawamura, Takukazu Otsuka, Masahiro Hirano, Toshio Kamiya, Hideo Hosono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 90 pp. 011107

出版年月

2007年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI