Improvement of crystalline quality of N-polar AlN layers on c-plane sapphire by low-pressure flow-modulated MOCVD (Tu-A1.3)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of crystalline quality of N-polar AlN layers on c-plane sapphire by low-pressure flow-modulated MOCVD (Tu-A1.3)

著者

和文:	M. Takuuchi, H. Shimizu, K. Kawasaki, Y. kumagai, A. Koukitu, Y. Aoyagi.
英文:	M. Takuuchi, H. Shimizu, K. Kawasaki, Y. kumagai, A. Koukitu, Y. Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Vol. Tu-A1.3 pp. 11

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	13th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy

開催地

和文:
英文:	May 22- 26, 2006, Miyazaki, Japan