Ultra shallow p<sup>+</sup>/n junction formation by plasma doping (PD) and long pulse all solid-state laser annealing (ASLA) with selective absorption modulation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ultra shallow p⁺/n junction formation by plasma doping (PD) and long pulse all solid-state laser annealing (ASLA) with selective absorption modulation

著者

和文:	C.G. Jin, Y. Sasaki, K. Okashita, H. Tamura, H. Ito, B. Mizuno, K. Tsutsui, S. Ohmi, H. Iwai.
英文:	C.G. Jin, Y. Sasaki, K. Okashita, H. Tamura, H. Ito, B. Mizuno, K. Tsutsui, S. Ohmi, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

巻, 号, ページ

Vol. 237 pp. 58-61

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: