ランタン-タンタル混合ドープにより界面電気特性を向上した次世代ジルコニアゲート絶縁膜の創製

論文・著書情報

タイトル

和文:	ランタン-タンタル混合ドープにより界面電気特性を向上した次世代ジルコニアゲート絶縁膜の創製
英文:	Creation of new lanthanum-tantalum doped zirconia gate dielectrics with improved interface dielectric properties

著者

和文:	木口賢紀.
英文:	Takanori Kiguchi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	財団法人　池谷科学技術振興財団　平成17年度年報
英文:	2005 Annual Report of Iketani Science and Technology Fundation

巻, 号, ページ

Vol. 17 pp. 132-138

出版年月

2007年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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