Roles of Ions and Free Electrons in the Synthesis of Mechanically Hard Amorphous-CNx Films Using a Dissociative Excitation Reaction of BrCN with the Ar Electron Cyclotron Resonance Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Roles of Ions and Free Electrons in the Synthesis of Mechanically Hard Amorphous-CNx Films Using a Dissociative Excitation Reaction of BrCN with the Ar Electron Cyclotron Resonance Plasma

著者

和文:	Kei-ichi C. Namiki, Hiroki Akasaka, Hidetoshi Saitoh, Haruhiko Ito.
英文:	Kei-ichi C. Namiki, Hiroki Akasaka, Hidetoshi Saitoh, Haruhiko Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 42 pp. 3682-3683

出版年月

2003年6月

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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