Fundamental Study on Dissociation Degree of Nitrogen and Oxygen in N2-O2 Microwave Discharge Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波放電窒素ー酸素混合プラズマ中の窒素及び酸素の解離度に関する基礎研究
英文:	Fundamental Study on Dissociation Degree of Nitrogen and Oxygen in N2-O2 Microwave Discharge Plasma

著者

和文:	市川陽亮, 坂本武士, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Y. Ichikawa, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)プロシーディングス
英文:	Proc. the 24th Sump. on Plasma Processing (SPP-24)

巻, 号, ページ

pp. 293-294

出版年月

2007年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)

開催地

和文:
英文:	大阪