NCD分散a-C膜の厚膜化のための成膜条件とNCDの分散状態についての研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	NCD分散a-C膜の厚膜化のための成膜条件とNCDの分散状態についての研究
英文:	NCD powder existence survey in the NCD dispersed a-C:H film of 1μm thick made by CVD coating

著者

和文:	後藤邦夫, 山﨑敬久, 鈴村暁男, 池庄司敏孝, 川畑明.
英文:	Kunio Goto, Takahisa Yamazaki, Akio Suzumura, Toshi-Taka Ikeshoji, Akira Kawahata.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	（社）日本機械学会第14回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集
英文:	The 14th Materials and Processing Conference (M&P2006)

巻, 号, ページ

Vol. 06 No. 56 pp. 279-280

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第14回機械材料・材料加工技術講演会
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開催地

和文:	千葉
英文: