Low Temperature Deposition of nc-3C-SiC:H films by VHF-PECVD Under High Pressure and High Power Conditions

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature Deposition of nc-3C-SiC:H films by VHF-PECVD Under High Pressure and High Power Conditions

著者

和文:	宮島晋介, Makoto Sawamura, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Makoto Sawamura, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of 2007 MRS spring meeting

巻, 号, ページ

pp. 10 (A5.1)

出版年月

2007年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2007 MRS spring meeting, April 9-13 2007, Symposium A, SESSION A5 (Poster): Alloys A5.1

開催地

和文:
英文:	Moscone West San Francisco, CA, USA