Spatial Resolution and Measurement Accuracy of Dielectric Microscope Using Non-contact State Microwave Probe

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Spatial Resolution and Measurement Accuracy of Dielectric Microscope Using Non-contact State Microwave Probe

著者

和文:	H. KAKEMOTO, J. LI, T. HARIGAI, S-M. NAM, S. WADA, T. TSURUMI.
英文:	H. KAKEMOTO, J. LI, T. HARIGAI, S-M. NAM, S. WADA, T. TSURUMI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 2006 15 th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 281-282

出版年月

2007年6月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI