SiN/Ge MIS キャパシタのCV特性に与える基板タイプの影響 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	SiN/Ge MIS キャパシタのCV特性に与える基板タイプの影響
英文:

著者

和文:	熊谷寛, 西川昌志, 武田浩司, 菅原聡, 高木信一.
英文:	熊谷寛, 西川昌志, 武田浩司, 菅原聡, 高木信一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1a-P6-28

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第52回応用物理学関係連合講演会, さいたま,
英文:

開催地

和文:
英文:

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