大気圧グロー放電による炭素系薄膜合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧グロー放電による炭素系薄膜合成
英文:	Carbon-based Film Deposition under Atmospheric Pressure Glow Discharge

著者

和文:	野崎智洋, Yoshihito KIMURA, Ken okazaki.
英文:	Tomohiro NOZKAI, Yoshihito KIMURA, Ken okazaki.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第39回日本伝熱シンポジウム講演論文集
英文:	39th National Heat Transfer Symposium on Japan

巻, 号, ページ

Vol. 1 No. - pp. 93-94

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: