Characterization of EUV emission from laser produced low-density Tin-oxidized plasmas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of EUV emission from laser produced low-density Tin-oxidized plasmas

著者

和文:	H.Nishimura, T.Hibino, T.Okuno, F.L.Sohbatzadeh, Y.Tao, M.Nakai, K.Shigemori, M.Yamaura, K.Hashimoto, Y.Shimada, S.Uchida, K.Nagai, T.Norimatsu, A.Sunahara, T.Kawamura, H.Furukawa, M.Murakami, T.Nishikawa, K.Nishihara, N.Miyanaga, Y.Izawa.
英文:	H.Nishimura, T.Hibino, T.Okuno, F.L.Sohbatzadeh, Y.Tao, M.Nakai, K.Shigemori, M.Yamaura, K.Hashimoto, Y.Shimada, S.Uchida, K.Nagai, T.Norimatsu, A.Sunahara, T.Kawamura, H.Furukawa, M.Murakami, T.Nishikawa, K.Nishihara, N.Miyanaga, Y.Izawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2nd International Extreme UltraViolet Symposium, Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.

巻, 号, ページ

Vol. http://www.sematech.org/

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2nd International Extreme UltraViolet Symposium, Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.

開催地

和文:
英文:	Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.