Highly conductive microcrystalline silicon carbide films deposited by the hot wire cell method and its application to amorphous silicon solar cells

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly conductive microcrystalline silicon carbide films deposited by the hot wire cell method and its application to amorphous silicon solar cells

著者

和文:	宮島晋介, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 430 pp. 274

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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DOI