In situ real-time spectroscopic ellipsometry study of HfO2 thin films grown by using the pulsed-source MOCVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In situ real-time spectroscopic ellipsometry study of HfO2 thin films grown by using the pulsed-source MOCVD

著者

和文:	Y. Zheng, H. Mizuta, Y. Tsuchiya, M. Endo, D. Sato, S. Oda.
英文:	Y. Zheng, H. Mizuta, Y. Tsuchiya, M. Endo, D. Sato, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 97 pp. 023527

出版年月

2005年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: