Active control of a pneumatic isolation table using model following control and a pressure differentiator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Active control of a pneumatic isolation table using model following control and a pressure differentiator

著者

和文:	Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Koichi Sawamoto, Toshiharu Kagawa.
英文:	Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Koichi Sawamoto, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 31 pp. 269-275

出版年月

2007年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI