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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effective Control of Flat-band Voltage in HfO2 Gate Dielectric with La2O3 Incorporation 
著者
和文: [320] Koichi Okamoto, 足立 学, 角嶋 邦之, AHMET PARHAT, Nobuyuki Sugii, 筒井 一生, 服部 健雄, 岩井 洋.  
英文: [320] Koichi Okamoto, Manabu Adachi, Kuniyuki Kakushima, Parhat Ahmet, Nobuyuki Sugii, Kazuo Tsutsui, Takeo Hattori, Hiroshi Iwai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2007年9月 
出版者
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会議名称
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英文:ESSDERC 2007 
開催地
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