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論文・著書情報


タイトル
和文:HfO2/Si 界面へのLa2O3 サブモノレイヤー添加による電気特性の変化 
英文: 
著者
和文: 岡本晃一, 足立学, 角嶋邦之, パールハット・アヘメト, 杉井信之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: 岡本晃一, Manabu Adachi, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハット・アヘメト, 杉井信之, KAZUO TSUTSUI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:秋季第68回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 820
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:秋季第68回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:北海道工業大学 
英文: 

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