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論文・著書情報
タイトル
和文:
極薄酸化膜を用いたAl2O3/SiC-MOSFETのチャネル移動度の向上
英文:
著者
和文:
畑山 智裕
,
日野史郎
,
加藤潤
,
徳光永輔
,
三浦 成久
,
大森 達夫
.
英文:
Tomohiro Hatayama
,
Shiro Hino
,
Jun Kato
,
EISUKE TOKUMITSU
,
Naruhisa Miura
,
Tatsuo Oomori
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
No. 29a-N-3
出版年月
2007年3月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第54回応用物理学関係連合講演会
英文:
開催地
和文:
青山学院大学相模原キャンパス
英文:
©2007
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