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論文・著書情報
タイトル
和文:
HfO2/ La2O3のゲート絶縁膜を用いたSi-MOSFETの電気特性
英文:
著者
和文:
日野雅文
,
角嶋 邦之
, パールハット アヘメト,
筒井 一生
, 杉井 信之,
服部 健雄
,
岩井 洋
.
英文:
Masafumi Hino
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
, パールハット アヘメト,
KAZUO TSUTSUI
, 杉井 信之,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
秋季第68回応用物理学会学術講演会
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2007年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
北海道工業大学
英文:
©2007
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